Depende muito da finalidade para a qual você pretende usar a máquina.
Vai ser necessário o uso de adaptador das lentes EF-S para a baioneta EF-M, embora o resultado seja bom.
Se você quer o EVF, as opções são a M5 e a M50. Se estiver interessado em vídeo, só a M50 tem 4k, mas ambas tem o excelente DPAF da Canon (menos em 4k). O sistema de foco da M50 é um pouco melhor, porque a câmera é mais recente. A M5 é mais cara.
A M5 é maior e é o topo da gama das mirrorless da Canon, então tem a construção melhor.
Se não fizer questão do EVF, a M6 é a melhor da Canon nessa categoria (é a M5 sem EVF). E a M10 e a M100 são, na ordem crescente de simplicidade, os modelos mais singelo da linha atual.
Todos empregam o sensor da 80D, que é muito bom.
Pessoalmente, eu iria de M5 ou M50 porque acho o EVF é indispensável.